[공학기술] 리소 그래피
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작성일 19-10-08 17:47
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1. Nano Paterning
일단 반도체쪽에서 나노기술을 공부하시려면 가장 관련이 많은 분야가 나노패터닝 입니다.
반도체를 만들때 중요한것이, 회로를 설계하는것과, 설계된 회로를 구현하는것 입니다.
설명
리소그래피
집적 회로 제작 시 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학 처리나 확산 처리하는 기술. 이 기술의 point은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로, 처음에는 가시광선, 자외선을 사용했으나 최근에는 전자 빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만든다.
얼마나 회로를 작고 정확하게 그려낼수 있는가 하는것이 반도체의 성능과 직결되는 인인데,
이러한 패터…(생략(省略))
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다.
