[반도체] EDS
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작성일 23-02-03 19:54
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Download : EDS(study ).pdf
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• 배정된 channel에 신호를 누적 막대 형태로 화면에 표시
전자 현미경 EDS에 대해서 자세히 나와있음 반도체 분야 분이신분들 필독입니다.
intrinsic Ge (IG) detector
- Energy의 함수로 property(특성) X-선을 검출
설명
* EDS (Energy Dispersive Spectrometry)
EDS 전자, 현미경
레포트 > 공학,기술계열
->spectrum
[반도체] EDS
• pulse를 voltage 신호로 변환
• 증폭과정을 거쳐 analog-to-digital converter가 신호를 인식
Si(Li) detector
순서
1). Detector : reverse-biased p-i-n diode
전자 현미경 EDS에 마주향하여 자세히 나와있음
• 특정 channel에 신호를 배정
Download : EDS(study ).pdf( 32 )
2). Pulse-processing electronics
- property(특성) X-선의 검출에 가장 널리 이용
- X-선의 검출에 주로 Si(Li) 또는 Ge 반도체소자를 사용
다. 반도체 분야 분이신분들 필독입니다.